高端裝備制造
一種可制備復雜微結(jié)構的納米壓印裝置
一種可制備復雜微結(jié)構的納米壓印裝置,首先放卷輥放出襯底,涂膠輥將光刻膠涂在襯底上,將襯底傳送到壓印裝置下方,加熱輥將光刻膠加熱到玻璃化溫度,壓印輥一進行壓印,然后固化,之后通過刻蝕裝置清除殘余層,襯底再次回到壓印裝置下方,再進行加熱,旋轉(zhuǎn)盤將壓印輥二轉(zhuǎn)至第一次壓印后的光刻膠上方,壓印輥二進行壓印,壓印輥二壓印完成后,重復以上步驟至壓印輥三壓印完成后,再將得到的復雜微結(jié)構的襯底通過收卷輥收集起來。本發(fā)明通過多輥壓印制備復雜微結(jié)構,能夠在較低成本下快速有效的制備復雜微納結(jié)構,方法簡單,裝置及加工實現(xiàn)成本相對較低,且制備圖案精度較高,減少了誤差,避免了對襯底上圖案和模板損傷及更換模板成本問題。
長春工業(yè)大學
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