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高端裝備制造

J型結(jié)構精密壓電粘滑直線馬達及其驅(qū)動方法
一種J型結(jié)構精密壓電粘滑直線馬達及其驅(qū)動方法，以解決當前壓電粘滑直線馬達由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導致的輸出機械性能受限等問題。本發(fā)明由固定基座、預壓力加載機構、J型結(jié)構定子和動子四部分組成，所述定子采用J型鉸鏈機構使得定子沿軸向剛度分布不均勻，激發(fā)定子驅(qū)動端產(chǎn)生側(cè)向位移，增大摩擦驅(qū)動力，減小摩擦阻力；同時將摩擦調(diào)控波復合疊加于定子快速變形階段的鋸齒驅(qū)動波中，從而降低快速變形階段定、動子間摩擦阻力，實現(xiàn)對摩擦力的綜合調(diào)控，顯著提升壓電粘滑直線馬達機械輸出特性。本發(fā)明具有結(jié)構簡單、精度高、行程大等特點，在航空航天、光學精密儀器和半導體加工等微納精密驅(qū)動與定位領域中具有很好的應用前景。

長春工業(yè)大學 授權發(fā)明
高端裝備制造

單鉤型位移轉(zhuǎn)換機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法
一種單鉤型位移轉(zhuǎn)換機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法，以解決當前壓電粘滑直線電機由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導致的輸出機械性能受限等問題。本發(fā)明由加載機構、單鉤型定子和動子組成；所述定子的單鉤型菱形位移放大轉(zhuǎn)換機構具有微位移放大功能，由于其軸向剛度分布不均產(chǎn)生側(cè)向位移的同時又增大了摩擦驅(qū)動力，減小了摩擦阻力；同時將摩擦調(diào)控波耦合疊加于單鉤型定子快速變形階段的鋸齒驅(qū)動波中，從而降低快速變形階段定、動子間摩擦阻力，實現(xiàn)對摩擦力的綜合調(diào)控，顯著提升壓電粘滑直線電機的機械輸出特性。本發(fā)明因具有結(jié)構簡單緊湊、裝配方便、定位精度高以及行程不受限等優(yōu)點可廣泛應用于半導體加工等微納精密驅(qū)動與定位技術領域。

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菱形鉸鏈撥片式正交驅(qū)動型壓電粘滑直線馬達及其復合激勵方法
一種菱形鉸鏈撥片式正交驅(qū)動型壓電粘滑直線馬達及其復合激勵方法，以解決當前壓電粘滑直線馬達由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導致的輸出機械性能受限等問題。本發(fā)明由預緊力調(diào)節(jié)機構、撥片式定子和動子三部分組成；所述撥片式定子利用撥片式菱形運動轉(zhuǎn)換器來產(chǎn)生側(cè)向位移，增大摩擦驅(qū)動力，減小摩擦阻力；同時將摩擦調(diào)控波耦合疊加于撥片式定子快速變形階段的鋸齒驅(qū)動波中，從而降低快速變形階段定、動子間摩擦阻力，實現(xiàn)對摩擦力的綜合調(diào)控，顯著提升壓電粘滑直線馬達的機械輸出特性。本發(fā)明具有結(jié)構簡單、精度高和行程大等特點，可廣泛應用于半導體加工與光學精密儀器等先進技術領域。

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斜楔式菱形放大機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法
一種斜楔式菱形放大機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法，以解決當前壓電粘滑直線電機由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導致的輸出機械性能受限等問題。本發(fā)明包括預壓力調(diào)節(jié)機構、斜楔式定子和動子；所述定子的斜楔式菱形運動轉(zhuǎn)換機構具有微位移放大功能，由于其軸向剛度分布不均既產(chǎn)生側(cè)向位移，又可增大摩擦驅(qū)動力和減小摩擦阻力；同時將摩擦調(diào)控波耦合疊加于斜楔式定子快速變形驅(qū)動階段的鋸齒驅(qū)動波中，降低快速變形驅(qū)動階段定、動子間摩擦阻力，實現(xiàn)對摩擦力的綜合調(diào)控，提升壓電粘滑直線電機的機械輸出特性。本發(fā)明因具有結(jié)構簡單緊湊、易裝配、控制方便、定位精度高以及行程大等優(yōu)點可以廣泛應用于半導體加工等微納精密驅(qū)動與定位技術領域。

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斜槽式菱形放大機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法
一種斜槽式菱形放大機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法，以解決當前壓電粘滑直線電機由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導致的輸出機械性能受限等問題。本發(fā)明包括預加載機構、斜槽式定子和動子；斜槽式定子設置的斜槽式菱形運動轉(zhuǎn)換機構可實現(xiàn)位移放大，由于其軸向剛度分布不均產(chǎn)生側(cè)向位移，并可增大摩擦驅(qū)動力和減小摩擦阻力；同時將摩擦調(diào)控波耦合疊加于斜槽式定子快速變形驅(qū)動階段的鋸齒驅(qū)動波中，從而降低快速變形驅(qū)動階段定、動子間摩擦阻力，實現(xiàn)對摩擦力的綜合調(diào)控，顯著提升壓電粘滑直線電機的機械輸出特性。本發(fā)明因具有結(jié)構緊湊、控制方便、定位精度高以及行程不受限等優(yōu)點可很好應用于精密光學儀器等微納精密驅(qū)動與定位技術領域。

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非對稱結(jié)構精密壓電粘滑直線馬達及其驅(qū)動方法
一種非對稱結(jié)構精密壓電粘滑直線馬達及其驅(qū)動方法，以解決當前壓電粘滑直線馬達由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導致的輸出機械性能受限等問題。本發(fā)明由固定支架、加載機構、定子和動子四部分組成，所述定子利用非對稱的柔性鉸鏈結(jié)構來產(chǎn)生側(cè)向位移，增大摩擦驅(qū)動力，減小摩擦阻力；同時將摩擦調(diào)控波復合疊加于定子快速變形階段的鋸齒驅(qū)動波中，從而降低快速變形階段定、動子間摩擦阻力，實現(xiàn)對摩擦力的綜合調(diào)控，顯著提升壓電粘滑直線馬達機械輸出特性。本發(fā)明具有結(jié)構簡單、精度高、行程大等特點，在航空航天、光學精密儀器和半導體加工等微納精密驅(qū)動與定位領域中具有很好的應用前景。

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