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高端裝備制造

非對稱菱形放大機(jī)構(gòu)壓電粘滑直線電機(jī)及其激勵(lì)方法
一種非對稱菱形放大機(jī)構(gòu)壓電粘滑直線電機(jī)及其激勵(lì)方法，以解決當(dāng)前壓電粘滑直線電機(jī)由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導(dǎo)致的輸出機(jī)械性能受限等問題。本發(fā)明包括預(yù)壓力調(diào)節(jié)裝置、定子和動(dòng)子三部分，所述定子的非對稱菱形位移放大轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)具有微位移放大功能，利用其非對稱結(jié)構(gòu)可以產(chǎn)生側(cè)向位移，同時(shí)增大摩擦驅(qū)動(dòng)力和減小摩擦阻力。通過將摩擦調(diào)控波耦合疊加于定子快速變形驅(qū)動(dòng)階段的鋸齒驅(qū)動(dòng)波中，從而降低快速變形驅(qū)動(dòng)階段定、動(dòng)子間摩擦阻力，實(shí)現(xiàn)對摩擦力的綜合調(diào)控，顯著提升壓電粘滑直線電機(jī)的機(jī)械輸出特性。本發(fā)明因具有結(jié)構(gòu)簡單緊湊、易裝配、精度高以及行程大等特點(diǎn)，可以廣泛應(yīng)用于精密光學(xué)儀器、半導(dǎo)體加工等微納精密驅(qū)動(dòng)與定位技術(shù)領(lǐng)域。

長春工業(yè)大學(xué) 授權(quán)發(fā)明
高端裝備制造

菱形鉸鏈斜槽式正交驅(qū)動(dòng)型壓電粘滑直線馬達(dá)及其復(fù)合激勵(lì)方法
一種菱形鉸鏈斜槽式正交驅(qū)動(dòng)型壓電粘滑直線馬達(dá)及其復(fù)合激勵(lì)方法，以解決當(dāng)前壓電粘滑直線馬達(dá)由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導(dǎo)致的輸出機(jī)械性能受限等問題。本發(fā)明由預(yù)緊力調(diào)節(jié)裝置、定子和動(dòng)子組成；所述定子利用斜槽式菱形運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換器來產(chǎn)生側(cè)向位移，增大了摩擦驅(qū)動(dòng)力，減小了摩擦阻力，所產(chǎn)生的側(cè)向位移通過驅(qū)動(dòng)足實(shí)現(xiàn)動(dòng)子驅(qū)動(dòng)；同時(shí)將摩擦調(diào)控波耦合疊加于定子快速變形階段的鋸齒驅(qū)動(dòng)波中，降低了快速變形階段定、動(dòng)子間摩擦阻力，降低了位移回帶率，顯著提升壓電粘滑直線馬達(dá)的機(jī)械輸出特性。本發(fā)明因具有結(jié)構(gòu)緊湊、控制簡單、定位精度高等優(yōu)點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工與光學(xué)精密儀器等先進(jìn)技術(shù)領(lǐng)域中。

長春工業(yè)大學(xué) 授權(quán)發(fā)明
高端裝備制造

斜梯形正交驅(qū)動(dòng)型壓電粘滑直線馬達(dá)及其復(fù)合激勵(lì)方法
一種斜梯形正交驅(qū)動(dòng)型壓電粘滑直線馬達(dá)及其復(fù)合激勵(lì)方法，以解決當(dāng)前壓電粘滑直線馬達(dá)由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導(dǎo)致的機(jī)械輸出性能受劣化等問題。本發(fā)明由加載裝置、定子和動(dòng)子組成；所述定子利用斜梯形運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換器來產(chǎn)生側(cè)向位移，增大摩擦驅(qū)動(dòng)力，減小摩擦阻力；同時(shí)將摩擦調(diào)控波復(fù)合疊加于定子快速變形階段的鋸齒驅(qū)動(dòng)波中，從而降低快速變形階段定、動(dòng)子間摩擦阻力，實(shí)現(xiàn)對摩擦力的綜合調(diào)控，顯著提升壓電粘滑直線馬達(dá)機(jī)械輸出性能。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、精度高、行程大等優(yōu)點(diǎn)，在半導(dǎo)體加工、光學(xué)調(diào)焦等具有結(jié)構(gòu)微型化、要求精確定位的領(lǐng)域中具有很好的應(yīng)用前景。

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高端裝備制造

菱形斜楔式正交驅(qū)動(dòng)型壓電粘滑直線馬達(dá)及其復(fù)合激勵(lì)方法
一種菱形斜楔式正交驅(qū)動(dòng)型壓電粘滑直線馬達(dá)及其復(fù)合激勵(lì)方法，以解決當(dāng)前壓電粘滑直線馬達(dá)由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導(dǎo)致的輸出機(jī)械性能受限等問題。本發(fā)明由斜楔形定子、預(yù)加載裝置、安裝支座和動(dòng)子組成四部分組成，所述斜楔形定子采用楔形結(jié)構(gòu)的非對稱鉸鏈，利用斜楔式菱形運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換器與定子驅(qū)動(dòng)足軸向剛度分布不均來產(chǎn)生側(cè)向位移，增大摩擦驅(qū)動(dòng)力，減小摩擦阻力；同時(shí)將摩擦調(diào)控波復(fù)合疊加于定子快速變形階段的鋸齒驅(qū)動(dòng)波中，實(shí)現(xiàn)對摩擦力的綜合調(diào)控，顯著提升壓電粘滑直線馬達(dá)機(jī)械輸出特性。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、精度高、行程大等特點(diǎn)，在精密醫(yī)療器械、光學(xué)精密儀器和半導(dǎo)體加工等微納精密驅(qū)動(dòng)與定位領(lǐng)域中具有很好的應(yīng)用前景。

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高端裝備制造

斜梯形運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換式精密壓電粘滑直線馬達(dá)及其驅(qū)動(dòng)方法
一種斜梯形運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換式精密壓電粘滑直線馬達(dá)及其驅(qū)動(dòng)方法，以解決當(dāng)前壓電粘滑直線馬達(dá)由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導(dǎo)致的輸出機(jī)械性能受限等問題。本發(fā)明由基座、預(yù)壓力調(diào)整裝置、斜梯形定子和動(dòng)子四部分組成，所述定子利用對稱的柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)來產(chǎn)生位移放大，利用斜梯形驅(qū)動(dòng)足軸向剛度分布不均來產(chǎn)生側(cè)向位移，增大摩擦驅(qū)動(dòng)力，減小摩擦阻力；同時(shí)將摩擦調(diào)控波復(fù)合疊加于定子快速變形階段的鋸齒驅(qū)動(dòng)波中，從而降低快速變形階段定、動(dòng)子間摩擦阻力，實(shí)現(xiàn)對摩擦力的綜合調(diào)控，顯著提升直線壓電馬達(dá)機(jī)械輸出特性。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、精度高、行程大等特點(diǎn)，在航空航天、光學(xué)精密儀器和半導(dǎo)體加工等微納精密驅(qū)動(dòng)與定位領(lǐng)域中具有很好的應(yīng)用前景。

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高端裝備制造

斜拉式菱形放大機(jī)構(gòu)壓電粘滑直線電機(jī)及其激勵(lì)方法
一種斜拉式菱形放大機(jī)構(gòu)壓電粘滑直線電機(jī)及其激勵(lì)方法，以解決當(dāng)前壓電粘滑直線電機(jī)由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導(dǎo)致的輸出機(jī)械性能受限等問題。本發(fā)明由預(yù)壓力裝置、斜拉式定子和動(dòng)子組成；所述定子的斜拉式菱形運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)具有微位移放大功能，由于其軸向剛度分布不均既產(chǎn)生了側(cè)向位移，又增大了摩擦驅(qū)動(dòng)力，并減小了摩擦阻力；同時(shí)將摩擦調(diào)控波耦合疊加于斜拉式定子快速變形驅(qū)動(dòng)階段的鋸齒驅(qū)動(dòng)波中，從而降低快速變形驅(qū)動(dòng)階段定、動(dòng)子間摩擦阻力，實(shí)現(xiàn)對摩擦力的綜合調(diào)控，提升了壓電粘滑直線電機(jī)的機(jī)械輸出特性。本發(fā)明因具有結(jié)構(gòu)緊湊、裝配方便、定位精度高以及行程不受限等優(yōu)點(diǎn)可廣泛應(yīng)用于精密光學(xué)儀器等微納精密驅(qū)動(dòng)與定位技術(shù)領(lǐng)域。

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