原位透射電子顯微鏡是當今材料科學研究領域中非常重要的先進分析手段,它能從納米尺度實時研究材料在復雜環(huán)境中的服役行為。該類分析設備價格昂貴、嚴重依賴于進口,使用性能受到很大限制。本工作自主設計構建透射電鏡原位等離子體態(tài)樣品臺,首創(chuàng)實現(xiàn)從納米尺度原位觀測等離子體與材料的相互作用。為研究等離子體環(huán)境中的表面與界面科學,特別是研究各種等離子體條件下復雜的化學氣相合成反應等開拓了必要的技術裝備,具有重要的科研價值和經濟意義。可廣泛應用于材料科學、化學化工、生物制藥等分析表征研究領域。
技術特點
透射電鏡原位等離子體態(tài)樣品臺由樣品桿和反應室組成,與JEOL、FEI、Hitachi等透射電鏡有很好的設備兼容性。該樣品臺裝備有一對由SiNx自支撐膜組成的全封閉式/流動式微型等離子體態(tài)反應室,可使用各種反應氣體,氣壓可在760Torr-mTorr范圍內變化,反應室最大高度400μm,容積連續(xù)可調,觀察區(qū)域面積25×25~100×100μm2,可使用直流/射頻電源,最大外加偏壓800V。