| 專(zhuān)利名稱(chēng) |
一種基于OFETs的超薄異質(zhì)結(jié)復(fù)合薄膜氣體傳感器的制備方法 |
| 申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào) |
CN201910608883.7 |
專(zhuān)利權(quán)人（第一權(quán)利人） |
長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué) |
| 申請(qǐng)日 |
2019-07-08 |
授權(quán)日 |
2021-06-01 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別 |
授權(quán)發(fā)明 |
戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類(lèi) |
新一代信息技術(shù) |
| 技術(shù)主題 |
真空蒸發(fā)|薄膜|異質(zhì)結(jié)|交叉指形電極|復(fù)合膜|空間電荷|基板|物理學(xué)|材料科學(xué) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 |
通過(guò)電磁手段進(jìn)行材料分析 |
| 意向價(jià)格 |
具體面議 |
| 專(zhuān)利概述 |
本發(fā)明是一種基于OFETs的超薄異質(zhì)結(jié)復(fù)合薄膜氣體傳感器的制備方法，在覆蓋有二氧化硅（SiO2）絕緣層的Si襯底上真空蒸鍍C60和VOPc超薄薄膜形成異質(zhì)結(jié)，然后真空蒸鍍鋁叉指電極構(gòu)成超薄異質(zhì)結(jié)復(fù)合薄膜氣體傳感器。一方面，由于異質(zhì)結(jié)效應(yīng)，在兩種材料的界面處形成了空間電荷區(qū)，有利于載流子的輸運(yùn)，提升了器件對(duì)NO2氣體的靈敏度；另一方面，高度結(jié)晶的C60薄膜和高度有序的VOPc薄膜有利于NO2氣體的吸附與解吸附，得到了快速響應(yīng)/回復(fù)的氣體傳感器。 |
| 圖片資料 |
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| 合作方式 |
具體面議 |
| 聯(lián)系人 |
戚梅宇 |
聯(lián)系電話(huà) |
13074363281 |
