| 專利名稱 |
用于光電探測(cè)器表面及界面的原位實(shí)時(shí)表征方法及系統(tǒng) |
| 申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào) |
CN201910721542.0 |
專利權(quán)人（第一權(quán)利人） |
長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué) |
| 申請(qǐng)日 |
2019-08-06 |
授權(quán)日 |
2021-11-02 |
| 專利類別 |
授權(quán)發(fā)明 |
戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 |
新一代信息技術(shù) |
| 技術(shù)主題 |
光感測(cè)器|光電探測(cè)器|顯微成像|激光燈|拉曼光譜|光源|材料科學(xué)|半導(dǎo)體材料 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 |
拉曼散射 |
| 意向價(jià)格 |
具體面議 |
| 專利概述 |
本發(fā)明揭示了一種用于光電探測(cè)器表面及界面的原位實(shí)時(shí)表征方法及系統(tǒng)。所述原位實(shí)時(shí)表征方法包括：以激光光源對(duì)光電探測(cè)器進(jìn)行輻照和拉曼光譜掃描，以使所述光電探測(cè)器處于工作狀態(tài)，采集拉曼光譜，并對(duì)獲得的拉曼光譜進(jìn)行分析處理，實(shí)現(xiàn)原位實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)光電探測(cè)器的界面結(jié)構(gòu)及載流子注入或提取的演變過(guò)程。所述系統(tǒng)包括：激光光源，用以對(duì)光電探測(cè)器進(jìn)行輻照；拉曼光譜采集單元，用以獲得工作狀態(tài)下的光電探測(cè)器內(nèi)部半導(dǎo)體材料的表面及界面結(jié)構(gòu)及組成的演變信息；檢測(cè)單元；分析處理單元。本發(fā)明利用拉曼技術(shù)及拉曼顯微成像技術(shù)，原位探測(cè)器件的微觀界面及其缺陷、勢(shì)壘分布，揭示影響器件敏感性的內(nèi)在原因，從而從微觀角度精細(xì)調(diào)控器件的性能。 |
| 圖片資料 |
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| 合作方式 |
具體面議 |
| 聯(lián)系人 |
戚梅宇 |
聯(lián)系電話 |
13074363281 |
