專利名稱 一種二維輔助振動的壓印裝置
申請?zhí)?專利號 CN201820504453.1 專利權(quán)人（第一權(quán)利人） 長春工業(yè)大學(xué)
申請日 2018-04-11 授權(quán)日 2018-10-26
專利類別 實(shí)用新型 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 高端裝備制造
技術(shù)主題 非彈性變形|計(jì)算機(jī)工程|抗蝕劑|工作站|風(fēng)冷|剪切變形|電熱板|鍍膜
應(yīng)用領(lǐng)域 光機(jī)械設(shè)備
意向價格 具體面議
專利概述 一種二維輔助振動的壓印裝置，其包括工作臺、XY軸位移臺、Z軸位移臺、二維微動平臺、壓印裝置、加熱板。涂膠后的襯底置于二維微動平臺上，XY軸位移臺將二維微動平臺移動到模板下方，加熱板對光刻膠進(jìn)行預(yù)熱，光刻膠未達(dá)到玻璃化溫度，預(yù)熱完成后，啟動二維微動平臺并帶動襯底實(shí)現(xiàn)二維振動，Z軸位移臺控制壓印裝置對襯底進(jìn)行壓印，壓印完成后在空氣中冷卻固化，最后進(jìn)行振動輔助脫模，本實(shí)用新型采用二維微動平臺帶動襯底實(shí)現(xiàn)壓印時X軸、Y軸振動，使壓印過程產(chǎn)生剪切變形進(jìn)而使光刻膠非彈性變形或流動，提高模板空腔的填充率，增強(qiáng)壓印圖案的保真度，提高壓印效率，降低脫模時的粘附力，對大尺寸特征以及高縱寬比的微結(jié)構(gòu)壓印成型十分有利。
圖片資料 一種二維輔助振動的壓印裝置
合作方式 具體面議
聯(lián)系人 戚梅宇 聯(lián)系電話 13074363281