專利名稱 一種碳納米管異質(zhì)結(jié)有機(jī)氣體傳感器的制備方法
申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào) CN201410624791.5 專利權(quán)人(第一權(quán)利人) 長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué)
申請(qǐng)日 2014-11-10 授權(quán)日 2017-12-19
專利類別 授權(quán)發(fā)明 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 材料化工
技術(shù)主題 電荷載體|常溫|異質(zhì)結(jié)|真空沉積|納米管|有機(jī)氣體|介電層|半導(dǎo)體
應(yīng)用領(lǐng)域 通過(guò)電磁手段進(jìn)行材料分析
意向價(jià)格 具體面議
專利概述 本發(fā)明公開了一種碳納米管異質(zhì)結(jié)有機(jī)氣體傳感器的制備方法。該碳納米管異質(zhì)結(jié)有機(jī)氣體傳感器的制備方法,包括介電層、誘導(dǎo)層、半導(dǎo)體層、異質(zhì)結(jié)層、有機(jī)氣敏層。采用碳納米管作為有機(jī)氣敏層,有機(jī)氣敏層一面與異質(zhì)結(jié)相連,一面與源極、漏極相連。特別是用碳納米管有機(jī)氣敏層實(shí)現(xiàn)高的氣體敏感性,利用有機(jī)異質(zhì)結(jié)提高載流子傳輸。該有機(jī)碳納米管異質(zhì)結(jié)的有機(jī)氣體傳感器在常溫下響應(yīng)速度快、靈敏性高的進(jìn)行工作,并且利用真空蒸鍍和溶液技術(shù)制備,工藝簡(jiǎn)單、成本低。
圖片資料 一種碳納米管異質(zhì)結(jié)有機(jī)氣體傳感器的制備方法
合作方式 具體面議
聯(lián)系人 戚梅宇 聯(lián)系電話 13074363281