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序號 儀器圖片 儀器名稱 儀器型號 功能 操作
1 自研拼接干涉儀 自研拼接干涉儀 * 光譜分析 查看詳情>
2 物鏡測試臺 物鏡測試臺 * 光學檢測 查看詳情>
3 準分子激光器 準分子激光器 EX5LN/EX5/500 光學檢測 查看詳情>
4 12寸VWS(高精度立式干涉儀) 12寸VWS(高精度立式干涉儀) 12寸VWS 光譜分析 查看詳情>
5 面形檢測系統(tǒng)(6寸ZYGO干涉儀) 面形檢測系統(tǒng)(6寸ZYGO干涉儀) 6寸 光譜分析 查看詳情>
6 離子束超光滑制造裝置真空系統(tǒng) 離子束超光滑制造裝置真空系統(tǒng) 定制 真空試驗 查看詳情>